格罗方德Fab11一期二期厂房效果图
4月11日，记者从成都高新区获悉，位于成都高新区西部园区的格罗方德晶圆代工厂已完成100%土石方工程，50%以上桩基工程，将于明年3月前完成项目建设。
据悉，这家代号为“Fab11”的晶圆代工厂，是格罗方德在全球的第11家晶圆代工厂，也是中国西南地区首条12英寸晶圆生产线，建成后将成为世界上标准最高、体量最大的晶圆代工厂之一。
Fab11建设方成都建工集团的项目负责人袁明介绍，相比常规电子厂房18个月的设计、建设周期，Fab11项目将在一年内完成建设，无论从建设规模、建设标准、智能程度等来说，都远高于其他一般厂房。为高效高质推进项目建设，相关单位实行“5+2”“白+黑”的施工方式全力推进，“到了建设高峰期，预计会有六七千人同时在现场施工”。
“格罗方德12英寸晶圆成都制造基地项目，对四川省、成都市电子信息产业发展具有重要意义，从建设方面来说，也是一项十分重大的挑战。”袁明说，成都建工集团将保证在推进施工进度的同时，高质量打造一座世界一流的智能自动化工厂，“这是一个具有里程碑意义的建设项目，能够参与这项工程的每个人都有一种荣誉感”。
最新进度：主生产厂房完成土方开挖桩基施工完成50%以上
8台打桩机一字排开、齐头并进;十余台挖掘机保持队形，高效挖运……日前，记者来到项目现场时，展现在眼前的就是这样一幅热火朝天的建设场景。自3月初项目实质施工以来，20万平方米的主生产厂房范围内，土石方开挖已完成100%，桩基施工完成50%以上。
按照建设计划，Fab11项目将在明年3月前全面完成，达到设备调试、生产的基本条件。常规电子厂房从设计到施工完成，需要约18个月时间，规模更大、施工要求更高的Fab11项目，须在12个月完成建设，对建设方来说是一场不折不扣的“硬仗”。
如何打好这场“硬仗”?袁明介绍，现场将通过推行“5+2”“白+黑”的施工方式，增配管理人员及机具设备，加倍资金投入等方式以确保明年3月完成建设。本项目仅管理团队就有近400人，“到了建设高峰期，预计会有六七千人同时在现场施工。”
作为格罗方德在中国最大和最先进的晶圆制造基地，对关键部位建筑材料和专用设备的技术指标要求都非常高，很多建材、设备须要从全球范围内精挑细选“量身定制”。袁明介绍，“计划在5月完成系统设备的招标采购。”
规模领先世界：占地近76万平方米超世界同类型代工厂
今年2月10日，格罗方德12英寸晶圆成都制造基地项目宣布开工。格罗方德是全球第二大晶圆代工厂，此次落户成都高新区的格罗方德12英寸晶圆生产基地，总占地近76万平方米，相当于1800个标准篮球场的大小。
据悉，项目一期建设主流CMOS工艺12英寸晶圆生产线，二期建设格罗方德最新的22FDX®22nm FD-SOI工艺12英寸晶圆生产线，总产量将达到每月8.5万片晶圆片。除了主生产厂房外，项目还包括中央动力厂房、厂务设施罐区、办公用房等区域。
“这么大规模的晶圆代工厂，从世界范围来看都是十分少见的。”袁明说，此前，建设方前往新加坡等地的晶圆代工厂进行过考察，从建设体量规模来说，格罗方德成都项目都远超上述晶圆代工厂。
据了解，Fab11项目包括至少3类重点建筑：囊括百级洁净车间的FAB厂房类建筑;制备、储存、处理有毒化学气体及液体的气体站及危险品库类建筑;进程高低压变配及输送管理的变电站及动力厂房类建筑。
据悉，以上3类建筑均有各自的专业标准和要求，部分标准远超国标，直接沿用国际标准。
格罗方德Fab11项目施工现场
技术难度高：6.5万平米空间的洁净度达100级比手术室高百倍
除规模大外，项目还对建设技术有相当高的要求。晶圆是最常用的半导体材料，晶圆越大，同一圆片上可生产的IC芯片就越多，对材料技术和生产技术的要求也更高。22FDX®22nm FD-SOI工艺是格罗方德最为先进的技术之一，对厂房也有更高的要求。
作为集成电路乃至芯片级的制造工厂，有别于产业链下端的封装、组配工厂，要求的配套设施更为全面专业。Fab11厂区按BOD(基础设计)规划，共有16类建筑与构筑物，包括生产调度及研发厂房、芯片厂房、动力站、化学品供应站和地下雨水蓄水池等。其中动力站、危险品库、大宗气体站等建筑都是其他传统工业厂房中罕见的。
“我们不仅要为格罗方德生产线建设一个生产空间，更要建设一个完整的生产系统。就好像一个人，除了躯干之外还要有血管、神经系统等。”成都建工集团项目经营经理王霞表示，Fab11成都工厂有大量常规工业厂房未涉及的制程工艺和标准考量，包括离子注入、光刻胶、封装、处理器等17个工艺环节。
与常规的厂房项目相比，该项目最大的难点就在于复杂的生产系统，在几十万平方米的空间内，囊括了动力系统、特殊气体站、超纯水系统等复杂体系，并要在建设中同步完成。项目采用世界一流的自动化技术，建设自动化物料运送系统、厂务管理系统、数据分析系统等，打造智能电子厂房，实现全自动化的晶圆制造。
值得关注的是，晶圆生产必须在洁净环境下进行，Fab11项目将打造6.5万平方米的晶圆生产洁净室，洁净等级为100级。王霞向记者介绍，一般的医院手术室是10000级，开胸手术的手术室是1000级，脑外科、心脏外科用的手术室能够达到100级。手术室的面积只有几十平方米，晶圆厂房则要保证6.5万平方米的空间都保持100的洁净度，局部房间达到1级标准。
1级标准是什么概念呢?即每立方英尺的空气中0.5微米或稍大些的微尘数量不超过1个，而人的头发丝直径为80微米，即在每立方英尺的空气中相当于1/160根头发丝粗细的微尘数量不超过1个。
“从工厂规模到技术标准，Fab11工厂都堪称世界一流的晶圆代工，我们将以专业的态度，发挥创新精神，高标准高效率完成项目建设。”袁明表示从项目各项手续咨询到审批，都得到了成都高新区相关部门的大力支持，“成都高新区高效、专业的办事作风深深触动了我们。我们也会秉承这种高效、专业的精神，加快推进项目建设”。
对格罗方德项目的支持，成都高新区并不止步于提高审批效率。为了全力保障格罗方德成都项目推进，今年3月，成都高新区成立了格罗方德项目指挥部，下设办公室、建设组、商务组、保障组，从项目建设推进、相关手续完善、环保审批督促等方面，明确分工任务、完善督查机制，为项目推进提供更专业、细致、全面的保障。
成都高新区相关负责人表示，格罗方德成都项目契合《国家集成电路产业发展推进纲要》，填补了中国西南地区12英寸先进工艺晶圆生产项目的空白，成都高新区将不遗余力地推进Fab11建设，助推成都打造全球知名的集成电路产业基地。
信息来源：发展策划局
